Supercritical Fluid System
스페셜 초임계공정
상품요약정보
세정, 합성, 도금, 도장 등 목적에 따라 구성 및 사양이 상이함
주요 특장점
정확한 설비구현 | 맞춤 엔지니어링 | 높은 안전성
영업문의
042)602-8022
적용분야
반도체세정, 마이크로머신세정, SCORR, 초미세 고분자의 합성, 초임계 도금 및 염색공정 등에 사용
기본(Standard) 사양 이외의 조건도 주문 제작이 가능하므로 영업 담당자와 협의하십시오.
Supercritical Cleaning System
초임계 세정
– 미세 세공 구조에도 쉽게 침투
– 확산계수가 액체에 비해 10배 이상
– 환경과 인체에 무해한 친환경적 세정
– 액체상태 이산화탄소로도 세정 가능
※ 습식 세정 후 패턴 손상 ⇒ 초임계 이산화탄소 세정 후
| Series | 초임계 세정 |
|---|---|
| Cleaning Vessel | 1.5L x 1기 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 1L x 1기 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 1L/min |
| Agitator | Magnedrive (Bottom) |
| Pressure Regulating | Electric Control Pressure Regulator |
| Pre-Heater & Heating System | Inline Double Pipe Type |
| Condenser & Cooling System | Shell & Tube Type |
| Control System | PC & Electric Local Type |
Supercritical Synthesis System
초임계 합성
– 불소고분자 중합반응이나 초미세 고분자의 합성에 사용
– 상황에 따라 작은양의 산소나 과산화물을 원료와 함께 주입
– 250℃로 유지되며 이때 초임계 에틸렌에 고분자에틸렌이 용해되어 배출
– 분리기에서 350bar로 감압되어 회수 및 배출
| Series | 초임계 합성 |
|---|---|
| Cleaning Vessel | 0.3L x 1기 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 0.3L x 2기 |
| CO2 Storage Vessel | 5L x 1기 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 70L/min |
| Agitator | Magnedrive (Top) |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Touch Panel Type |
Supercritical Plating System
초임계 도금
– 금속성분과 플라스틱(ABS, PS)에 도금 가능
– 폐수가 발생하지 않는 친환경적 공법
| Series | 초임계 도금 |
|---|---|
| Main Vessel | 0.3L x 1기 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃ |
| Separate Vessel | 0.3L x 2기 |
| CO2 Storage Vessel | 5L x 1기 |
| CO2 High Pressure Pump | Max. Flow Rate : 70mL/min |
| Agitator | Magnedrive (Top) |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Touch Panel Type |
Supercritical Painting System
초임계 도장
– 초임계 이산화탄소를 이용하여 도료를 혼합
– 생성 및 반송 / 혼합 / 공급 / 도료분사 노즐 장치로 구성
| Series | 초임계 도장 |
|---|---|
| Main Vessel | 0.5L x 1기 / Max. Working Condition : 200kg/cm2 at 95℃ |
| Mixing Vessel | 0.3L x 1기 / Inserted Zirconia Ball Type |
| Static Mixer | 0.5L x 1기 / Paint + scCO2 Mixing |
| CO2 Gas Booster System | 5L x 1기 |
| Co-Solvent Pump & System | Max. Flow Rate : 12mL/min |
| Recycle System | Filtering System |
| Temperature Utility | Chiller & Heating Bath System |
| Control System | Electric Box Type |
