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Supercritical Fluid System
特殊超临界工艺

产品概要信息
根据清洗、合成、镀层、涂装等不同目的,结构及规格各异

主要特点
实现精确的设备 | 定制化工程 | 高安全性

营业咨询
+82-42-602-8022

适用领域
应用于半导体清洗、微型机器清洗、SCORR、超微高分子合成、超临界镀层及染色工程等

除了标准规格外,其他条件也可以定制,请与营销负责人协商。

Supercritical Cleaning System

超临界清洗

– 容易渗透到微细孔结构
– 扩散系数比液体高出10倍以上
– 对环境和人体无害的环保清洗
– 也可使用液态二氧化碳进行清洗

※ 湿式清洗后图案受损 ⇒ 超临界二氧化碳清洗后

Series 超临界清洗
Cleaning Vessel 1.5L x 1台 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃
Separate Vessel 1L x 1台
CO2 High Pressure Pump Max. Flow Rate : 1L/min
Agitator Magnedrive (Bottom)
Pressure Regulating Electric Control Pressure Regulator
Pre-Heater & Heating System Inline Double Pipe Type
Condenser & Cooling System Shell & Tube Type
Control System PC & Electric Local Type

Supercritical Synthesis System

超临界合成

– 用于氟聚合物聚合反应或超细高分子的合成
– 根据情况可与少量氧气或过氧化物一起注入原料
– 保维持在250℃,此时聚合物乙烯溶解在超临界乙烯中排出
– 在分离器中减压至350bar后进行回收和排放

Series 超临界合成
Cleaning Vessel 0.3L x 1台 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃
Separate Vessel 0.3L x 2台
CO2 Storage Vessel 5L x 1台
CO2 High Pressure Pump Max. Flow Rate : 70L/min
Agitator Magnedrive (Top)
Co-Solvent Pump & System Max. Flow Rate : 12mL/min
Recycle System Filtering System
Temperature Utility Chiller & Heating Bath System
Control System Touch Panel Type

Supercritical Plating System

超临界镀层

– 可在金属成分和塑料(ABS、PS)上镀层
– 不产生废水的环保工艺

Series 超临界镀层
Main Vessel 0.3L x 1台 / Max. Working Condition : 550kg/cm2 at 80℃
Separate Vessel 0.3L x 2台
CO2 Storage Vessel 5L x 1台
CO2 High Pressure Pump Max. Flow Rate : 70mL/min
Agitator Magnedrive (Top)
Co-Solvent Pump & System Max. Flow Rate : 12mL/min
Recycle System Filtering System
Temperature Utility Chiller & Heating Bath System
Control System Touch Panel Type

Supercritical Painting System

超临界涂装

– 使用超临界二氧化碳混合涂料
– 由生成与回流/混合/供应/涂料喷射喷嘴装置组成

Series 超临界涂装
Main Vessel 0.5L x 1台 / Max. Working Condition : 200kg/cm2 at 95℃
Mixing Vessel 0.3L x 1台 / Inserted Zirconia Ball Type
Static Mixer 0.5L x 1台 / Paint + scCO2 Mixing
CO2 Gas Booster System 5L x 1台
Co-Solvent Pump & System Max. Flow Rate : 12mL/min
Recycle System Filtering System
Temperature Utility Chiller & Heating Bath System
Control System Electric Box Type
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